オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 1999/03
発表テーマ ダメージピークに埋め込み酸化膜を持つSIMOX
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 応用物理学会 春季応用物理学関係連合講演会