オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	1998/09
発表テーマ	Oxigen Precipitates amd Related Defects in SOI Substrate Fabricated by Wafer Bonding and H^+^ Splitting
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　International Conference on Solid State Devices and Materials M.TAjima