オグラ アツシ   Ogura Atusi
  小椋 厚志
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任教授
発表年月日 2005/07
発表テーマ Crystallinity Estimation of Strained-Si Wafers by Using Highly Parallel X-Ray Microbeam
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 'The 8th International Conference on X-ray Microscopy (Himeji, Japan) ◎Y. Tsusaka, K. Fukuda, N. Tomita, K. Hayashi, Y. Kagoshima, J. Matsui and A. Ogura'