オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2004/01
発表テーマ	陽電子消滅法を用いたHigh-k膜の欠陥解析
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性（第８回研究会） （招待講演） 上殿、服部、小椋、工藤、西川、大平、鈴木、三角