オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2003/09
発表テーマ	Precursors for chemical vapor deposition of NiSi
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　International Conference on Solid State Device and Materials M.Ishikawa, T.KADa. H.Machida, Y.Ohshita