オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2003/08
発表テーマ	低速陽電子ビームによるPoly-Si/HfSiO_x_/Si構造の空孔型欠陥の検出
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	応用物理学会　秋季学術講演会 上殿、服部、小椋、工藤、西川、大平、鈴木、三角