オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2003/03
発表テーマ	レーザーコンフォーカル検査システムを用いた市販超薄膜ＳＯＩ基板の評価
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	春季応用物理学関係連合講演会 小椋、岡林