ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2018/09/18
発表テーマ	C及びGeイオン注入後にレーザーアニールを施したSiGe薄膜の歪評価
会議名	第79回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	小孫 翔大, 村上 達海, 吉岡 和俊, 横川 凌, 澤本 直美, Borland John, 黒井 隆, 田畑 俊行, Huet Karim, 堀口 直人, 小椋 厚志