ヨコガワ リョウ   YOKOGAWA RYO
  横川 凌
   所属   明治大学  理工学部
   職種   助教
発表年月日 2020/03/12
発表テーマ Si基板へのイオン注入とレーザーアニールで作製したSi1-x-yGexSny薄膜の歪評価
会議名 第67回応用物理学会春季学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 小笠原 凱, 小孫 翔大, 横川 凌, 吉岡 和俊, 澤本 直美, Borland John, 黒井 隆, 川崎 洋司, 小椋 厚志