ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2020/09/29
発表テーマ	Chemical Structure of SiN Films Deposited on High Aspect Trench by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
会議名	2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	Tappei Nishihara, Ryo Yokogawa, Yuji Otsuki, Munehito Kagaya, Atsushi Ogura