ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
発表年月日	2021/03/17
発表テーマ	X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価
会議名	第68回応用物理学会春季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催期間	2021/03/16～2021/03/19
発表者・共同発表者	吉岡 和俊, 小原田 賢聖, 小笠原 凱, 廣沢 一郎, 渡辺 剛, 横川 凌, 小椋 厚志