タテノ　トシタケ   TATENO TOSHITAKE   舘野　寿丈    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011/11
形態種別	国際会議議事録
査読	査読あり
標題	Multi-modal Vibration Stage for Alignment of Micro-objects –Design Guideline of Multi-axis Alignment Stage
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Proc. of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
出版社・発行元	Japan Society of Mechanical Engineers
著者・共著者	Kotaro OKUI, Toshitake TATENO, Akira KAKUTA