カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕
所属
明治大学 理工学部
職種
専任准教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2003/06
形態種別
学術雑誌
査読
査読あり
標題
炭素電極を使用した電解水によるトレンチポリシリコン洗浄プロセスの検討
執筆形態
共著(筆頭者以外)
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌Ｃ
巻・号・頁
J86-C,623-633頁
著者・共著者
宮下, 植草, 勝俣, 小寺, 松井