カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
|
言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2000/11 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Etching, smoothing, and deposition with gas-cluster ion beam technology |
執筆形態 | 共著(筆頭者以外) |
掲載誌名 | Surf. Coat. Technol. |
巻・号・頁 | 133-134,pp.273-282 |
著者・共著者 | J.A. Greer, D.B. Fenner, J. Hautala, L.P. Allen, V. DiFilippo, N. Toyoda, I. Yamada, J. Matsuo, E. Minami, and H. Katsumata |