カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2000/11
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Etching, smoothing, and deposition with gas-cluster ion beam technology
執筆形態 共著(筆頭者以外)
掲載誌名 Surf. Coat. Technol.
巻・号・頁 133-134,pp.273-282
著者・共著者 J.A. Greer, D.B. Fenner, J. Hautala, L.P. Allen, V. DiFilippo, N. Toyoda, I. Yamada, J. Matsuo, E. Minami, and H. Katsumata