カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/03
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	O2 cluster ion-assisted deposition for tin-doped indium oxide films
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
巻・号・頁	161-163,pp.952-957
著者・共著者	J. Matsuo, H. Katsumata, E. Minami and I. Yamada