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カワナミ ツヨシ
KAWANAMI TSUYOSHI
川南 剛 所属 明治大学 理工学部 職種 専任教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2014/05 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Precise Control of Temperature Rising Speed of Wafer during Rapid Thermal Processing |
| 執筆形態 | 共著(筆頭者以外) |
| 掲載誌名 | Journal of Mechanics Engineering and Automation |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 4(5),pp.359-364 |
| 総ページ数 | null |
| 著者・共著者 | S. Hirasawa, K. Shirai, T. Urimoto, N. Morimoto, A. Fujiwara, S. Tada |