カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1997/05
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Ion-beam-induced epitaxial crystallization (IBIEC) and solid phase epitaxial growth (SPEG) of Si1-xCx layers in Si fabricated by C ion implantation
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
巻・号・頁	127-128,pp.350-354
著者・共著者	N. Kobayashi, D.H. Zhu, M. Hasegawa, H. Katsumata, Y. Tanaka, N. Hayashi, Y. Makita, H. Shibata, and S. Uekusa