カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1997/05
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Effect of multiple-step annealing on the formation of semiconducting β-FeSi2 and metallic α-Fe2Si5 on Si(100) by ion beam synthesis
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁	36,pp.2802-2812
著者・共著者	H. Katsumata, Y. Makita, N. Kobayashi, H. Shibata, M. Hasegawa, S. Uekusa