カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1996/08
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Synthesis of β-FeSi2 for optical applications by Fe triple-energy ion implantation into Si(100) and Si(111) substrates
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	Thin Solid Films
巻・号・頁	281-282,pp.252-255
著者・共著者	H. Katsumata, Y. Makita, N. Kobayashi, M. Hasegawa, H. Shibata, and S. Uekusa