カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2012/04
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Deposition of TaN Films by RF sputtering and their barrier properties in Cu/TaN/Dielectrics/Si MIS structures
執筆形態 共著(筆頭者以外)
掲載誌名 e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
巻・号・頁 10,pp.107-113
著者・共著者 Hiroaki Tajima, Hiroshi Katsumata and Shin-ichiro Uekusa