ミウラ　ノボル   Miura Noboru   三浦　登    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2001/09
形態種別	大学・研究所紀要
標題	反応性スパッタリング法によるチタン添加酸化ジルコニウム薄膜の作製と評価
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	明治大学理工学部・明治大学理工学部研究報告
巻・号・頁	25(81),1-9頁
著者・共著者	◎松本皓永（助教授） , 関根正人*（大学院生） , 三浦登（専任講師） , 中野鐐太郎（教授）