カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1995/04
形態種別	国際会議議事録
査読	査読あり
標題	Fabrication of epitaxial silicides thin films by combining low-energy ion beam deposition and silicon molecular beam epitaxy
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
巻・号・頁	387,pp.517-522
著者・共著者	H. Shibata, Y. Makita, H. Katsumata, S. Kimura, N. Kobayashi, M. Hasegawa, S. Hishita, A.C. Beye, H. Takahashi, J. Tanabe and S. Uekusa