カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1995/02
形態種別	国際会議議事録
査読	査読あり
標題	Optical and structural properties of β-FeSi2 layers on Si fabricated by triple 56Fe ion implantations
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	Proceedings of the 9th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, Canberra, Australia
巻・号・頁	pp.943-946
著者・共著者	H. Katsumata, H. Shen, N. Kobayashi, Y. Makita, M. Hasegawa, H. Shibata, S. Kimura, A. Obara and S. Uekusa