ツツミ　トシユキ   Tsutsumi Toshiyuki   堤　利幸    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/11
形態種別	学術雑誌
標題	'Fabrication technology of a Si nanowire memory transistor using an inorganic electron beam resist process'(学会誌)
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	The American Vacuum Society, the American institute of PhysicsJournal of Vacuum Science & Technology B
巻・号・頁	Vol.18 №6,pp.2640-2645
著者・共著者	◎T. TSUTSUMI(助手) , K. ISHII*(ETL・主任研究官) , H. HIROSHIMA*(ETL・主任研究官) , S. HAZRA*(ETL・STA fellow) , M. YAMANAKA*(ETL・主任研究官) , I. SAKATA*(ETL・主任研究官) , H. TAGUCHI*(Science Univ of Tokyo・大学院生) , 他2名