カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2011/03
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Properties of TaN Films for ULSIs Prepared by Reactive Sputter Deposition
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Journal of Surface Analysis
巻・号・頁	17(3),pp.247-251
著者・共著者	H. Tajima, N. Shiobara, H. Katsumata and S. Uekusa