ミウラ　ノボル   Miura Noboru   三浦　登    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002/01
形態種別	学術雑誌
標題	Evaluation of Hafnium-Titanium-Oxide Thin Films Prepared by Reactive Sputtering
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	日本真空協会・Journal of the Vacuum Society of Japan
巻・号・頁	45(1),pp.18-25
著者・共著者	Hironaga Matsumoto, Kimio Ando, Noboru Miura and Ryotaro Nakano