カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2010/12
形態種別	国際会議議事録
標題	Resistivity variation of TaN thin films for barrier metal
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Proc. of the 29th Symposium on Matererials Science and Engineering Research Center of Ion Beam Technology, Hosei University
巻・号・頁	pp.49-54
著者・共著者	H.Tajima,T.Tanaka,H.Katsumata, and S.Uekusa