カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2002/08
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Characterization of a New Cleaning Method Using Electrolytic Ionized Water for Polysilicon Chemical Mechanical Polishing Process
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁	41,pp.5098-5103
著者・共著者	N. Miyashita, S. Uekusa, and H. Katsumata