カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2000/11
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Etching, smoothing, and deposition with gas-cluster ion beam technology
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	Surf. Coat. Technol.
巻・号・頁	133-134,pp.273-282
著者・共著者	J.A. Greer, D.B. Fenner, J. Hautala, L.P. Allen, V. DiFilippo, N. Toyoda, I. Yamada, J. Matsuo, E. Minami, and H. Katsumata