カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1998/06
形態種別	国際会議議事録
査読	査読あり
標題	Formation of oxide thin films for optical applications by O2-cluster ion beam assisted deposition
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	IEEE proceedings of the 12th International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, IEEE Cat. No.98EX144
巻・号・頁	pp.1195-1198
著者・共著者	H. Katsumata, J. Matsuo, T. Nishihara, T. Tachibana, E. Minami, K. Yamada, M. Adachi, and I. Yamada