カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2012/04
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Deposition of TaN Films by RF sputtering and their barrier properties in Cu/TaN/Dielectrics/Si MIS structures
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
巻・号・頁	10,pp.107-113
著者・共著者	Hiroaki Tajima, Hiroshi Katsumata and Shin-ichiro Uekusa