ツツミ　トシユキ   Tsutsumi Toshiyuki   堤　利幸    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1999/01
形態種別	学術雑誌
標題	Fabrication Technology of Ultrafine SiO2 masks and Si nanowires using oxidation of vertical sidewalls of a Poly-Si layer
執筆形態	共著(筆頭者)
掲載誌名	Journal of Vacuum Science & Technology B
巻・号・頁	Vol.17, No.1,pp.77-81
著者・共著者	◎Toshiyuki Tsutsumi(助手) , Kazutaka Tomizawa , Kenichi Ishii , Seigo Kanemaru , Eiichi Suzuki