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ヨコガワ リョウ
YOKOGAWA RYO
横川 凌 所属 明治大学 理工学部 職種 助教 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2020/06 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Stress evaluation induced by wiggling silicon nitride fine pattern using Raman spectroscopy |
| 執筆形態 | 共著(筆頭者以外) |
| 掲載誌名 | Japanese Journal of Applied Physics |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 59(SI),pp.SIIF03-1-SIIF03-6 |
| 著者・共著者 | Masato Koharada, Ryo Yokogawa, Naomi Sawamoto, Kazutoshi Yoshioka, Atsushi Ogura |
| DOI | 10.35848/1347-4065/ab7e14 |
| PermalinkURL | https://doi.org/10.35848/1347-4065/ab7e14 |