ヨコガワ　リョウ   YOKOGAWA RYO   横川　凌    所属   明治大学  理工学部    職種   助教
言語種別	英語
発行・発表の年月	2022/02
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Modification and Characterization of Interfacial Bonding for Thermal Management of Ruthenium Interconnects in Next-Generation Very-Large-Scale Integration Circuits
執筆形態	共著(筆頭者以外)
掲載誌名	ACS Applied Materials and Interfaces
掲載区分	国外
巻・号・頁	14(5),pp.7392-7404
国際共著	国際共著
概要	Tianzhuo Zhan, Keita Sahara, Haruki Takeuchi, Ryo Yokogawa, Kaito Oda, Zhicheng Jin, Shikang Deng, Motohiro Tomita, Yen Ju Wu, Yibin Xu, Takeo Matsuki, Haidong Wang, Mengjie Song, Sujun Guan, Atsushi Ogura, Takanobu Watanabe