カマタ マコト   KAMATA MAKOTO
  鎌田 慎
   所属   明治大学  理工学部
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2016/05
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
招待論文 招待あり
標題 スパッタ成膜a-Si:Hを用いたレーザー誘起誘電泳動による光MEMS拡散センサーの開発
執筆形態 共著(筆頭者)
掲載誌名 熱物性
掲載区分国内
出版社・発行元 日本熱物性学会
巻・号・頁 30(2),74-79頁
総ページ数 6
著者・共著者 鎌田 慎, 山田 幹, 田口 良広, 長坂 雄次