カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
取得国 国外
知的財産権の種類 特許権
出願国 外国
特許番号 US7833911
取得年月日 2010/11/16
特許名 Method of manufacturing semiconductor device, apparatus of manufacturing semiconductor device and semiconductor device