カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
取得国	国内
知的財産権の種類	特許権
出願国	国内
公開番号	特開2008-244144
特許名	半導体装置の製造方法