カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
取得国	国内
知的財産権の種類	特許権
出願国	国内
出願番号	特願2009-72442
公開番号	特開2010-224296
特許名	マスク、マスクの作製方法および半導体装置の製造方法