カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
取得国 国内
知的財産権の種類 特許権
出願国 国内
特許番号 特許4745273
特許名 半導体装置の製造方法、半導体製造装置及び半導体装置