カツマタ ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi
  勝俣 裕
   所属   明治大学  理工学部
   職種   専任准教授
取得国 国外
知的財産権の種類 特許権
出願国 外国
特許番号 KR1009379110000(大韓民国)
特許名 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE