オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2002/08
発表テーマ	Organometallic Hf and Si precursors for Hf_1-x_Si_x_O_2_ thin film formation sythesis
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　Atomic Layer DEposition (ALD2002) Conference H.Machida, T.kada, H.Machida, Y.Oshida