オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2002/03
発表テーマ
低速陽電子ビームによるSOIウエハーの欠陥と水素の相互作用の研究
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
応用物理学界 春季応用物理学関係連合講演会
上殿、Chen、小椋、大平、鈴木、三角