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カツマタ ヒロシ
KATSUMATA Hiroshi
勝俣 裕 所属 明治大学 理工学部 職種 専任准教授 |
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| 発表年月日 | 2017/07/29 |
| 発表テーマ | 共スパッタ法によるアモルファスSi/β-FeSi2複合薄膜の形成および物性評価 |
| 会議名 | 第17回シリサイド系半導体夏の学校（p.45） |
| 主催者 | 公益社団法人応用物理学会 シリサイド系半導体と関連物質研究会 |
| 学会区分 | 研究会・シンポジウム等 |
| 発表形式 | ポスター |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 開催地名 | 浜名湖ロイヤルホテル |
| 発表者・共同発表者 | 齊藤 佑太, 澤田 真志, 勝俣 裕 |