オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2001/09
発表テーマ	Novel SOI fabrication process by light ion implantation and annealing in oxigen including atmosphere
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議 International Conference on Solid State Devices and Materials