オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2001/09
発表テーマ
MOCVDによるHfO_2_膜の堆積―シリケート成膜
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
応用物理学会 秋季学術講演会
町田、石川、星野、小椋、大下