カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2018/09/20
発表テーマ	スパッタリング法によるEu,Si共添加AlN薄膜の形成における共添加材料の検討
会議名	第79回応用物理学会秋季学術講演会（20p-235-10）
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	名古屋国際会議場
発表者・共同発表者	森本　一総，勝俣　裕