オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2001/06
発表テーマ
ＭＯＣＤＶ法によるＨｆＯ_2_膜の堆積
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
半導体・集積回路技術シンポジウム
星野、鈴木、町田、小椋、大下