オグラ　アツシ   Ogura Atusi   小椋　厚志    所属   明治大学  理工学部    職種   専任教授
発表年月日	2001/04
発表テーマ	HfO_2_ Film Formation by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	国際会議　　Spling Meeting of The Material research Society A.Hoshino,T.Suzuki,H.Machida, and Y.Ohshita