カツマタ　ヒロシ   KATSUMATA Hiroshi   勝俣　裕    所属   明治大学  理工学部    職種   専任准教授
発表年月日	2019/07/20
発表テーマ	Optical Properties of Amorphous and Nanocrystalline SiC Embedded in Silicon Oxide Films Prepared by Co-sputtering
会議名	5th Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides (APAC SILICIDE 2019) (P25)
学会区分	国際学会
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	Seagaia Convention Center, Miyazaki
発表者・共同発表者	R. Narimatsu, K. Morimoto, and H. Katsumata