オグラ アツシ
Ogura Atusi
小椋 厚志
所属
明治大学 理工学部
職種
専任教授
発表年月日
2001/03
発表テーマ
MOCVD法によるHfO_2_膜の堆積(Ⅱ)
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
星野、鈴木、町田、忍田、小椋、大下